真空泵流量是指單位時間流過任意截面的氣體量。

抽氣速率是指在一定的壓強和溫度下，單位時間內由泵進氣口處抽走的氣體稱為抽氣速率，簡稱抽速。

真空泵是一種旋轉式變容積氣體輸送泵，包括干式螺桿真空泵、水環泵、往復泵、滑閥泵、旋片泵、羅茨泵和擴散泵，具有在較寬的壓力范圍內有較大的抽速等特點，被廣泛用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業。

真空泵包括水環泵、往復泵、滑閥泵、旋片泵、羅茨泵和擴散泵等，目前這些泵是我國國民經濟各行業應用真空工藝過程中必不可少的主力泵種。近年來，伴隨著我國經濟持續高速發展，真空泵相關下游應用行業保持快速增長勢頭，同時在真空泵應用領域不斷拓展等因素的共同拉動下，我國真空泵行業實現了持續穩定地發展。